| 主权项 |
1.一种放射线敏感性树脂组成物,其包含:(A)一种共聚物,其包含由下列分子式(1)代表之重复单元:其中R1为氢原子或甲基基团,及由下列分子式(2)代表之重复单元:其中R1与上面的定义相同,R2为氢原子或甲基基团,及R3为甲基基团或乙基基团;(B)一种共聚物,其包含由上述分子式(1)代表之重复单元及由下列分子式(3)代表之重复单元:其中R1与上面的定义相同;及(C)一种放射线敏感性酸产生剂其包含系由盐、化合物、磺酸盐化合物、磺醯亚胺化合物、重氮基甲烷化合物及二磺醯基甲烷化合物所组成之群类中选出之至少一者,其中重复单元(1)在共聚物(A)中的含量高于40 mol%并低于90 mol%,基于所有重复单元之总量,且重复单元(2)在共聚物(A)中的含量高于3 mol%并低于40 mol%,基于所有重复单元之总量,及重复单元(1)在共聚物(B)中的含量高于40 mol%并低于90 mol%,基于所有重复单元之总量,且重复单元(3)在共聚物(B)中的含量在高于3 mol%并低于40 mol%,基于所有重复单元之总量。2.如申请专利范围第1项之放射线敏感性树脂组成物,其中重复单元(1)及(2)在共聚物(A)中的总含量为70 mol%或更多,基于所有重复单元之总量。3.如申请专利范围第1项之放射线敏感性树脂组成物,其中在共聚物(A)中的重复单元(2)系由下列分子式(4)代表:4.如申请专利范围第1项之放射线敏感性树脂组成物,其中重复单元(1)及(3)在共聚物(B)中的总含量在70 mol%或更多,基于所有重复单元之总量。5.如申请专利范围第1项之放射线敏感性树脂组成物,其中共聚物(A)包含衍生自下面群类中至少一种单体的重复单元,该群类系由苯乙烯、4-甲基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-第三丁氧基苯乙烯、4-第三丁氧基羰基氧基苯乙烯、4-(1-乙氧基乙氧基苯乙烯)、4-(1-乙氧基丙氧基苯乙烯)、4-四氢喃基氧基苯乙烯、4-乙醯氧基苯乙烯、4-第三丁氧基羰基甲氧基苯乙烯、2-羟基苯乙烯、3-羟基苯乙烯、3-甲基-4-羟基苯乙烯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸异龙脑酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯及(甲基)丙烯所组成的,其作为重复单元(1)及(2)之外的重复单元。6.如申请专利范围第1项之放射线敏感性树脂组成物,其中共聚物(B)包含衍生自下面群类中至少一种单体的重复单元,该群类系由:苯乙烯、4-甲基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-第三丁氧基苯乙烯、4-第三丁氧基羰基氧基苯乙烯、4-(1-乙氧基乙氧基苯乙烯)、4-(1-乙氧基丙氧基苯乙烯)、4-四氢喃基氧基苯乙烯、4-乙醯氧基苯乙烯、4-第三丁氧基羰基甲氧基苯乙烯、2-羟基苯乙烯、3-羟基苯乙烯、3-甲基-4-羟基苯乙烯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸异龙脑酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯及(甲基)丙烯所组成的,其作为重复单元(1)及(3)之外的重复单元。7.如申请专利范围第1项之放射线敏感性树脂组成物,其中进一步包含含氮有机化合物作为酸扩散控制剂。图式简单说明:图1为一保护层图样之断面图,用以说明薄膜表面粗糙度评价估方法。 |
