| 主权项 |
1.一种洗净装置,其特征为: 具备:用来磨擦被洗净物表面之磨擦手段、及朝向 被洗净物表面供应洗净液并且产生超音波之超音 波照射手段; 相互对向地配置磨擦手段和超音波照射手段, 被洗净物能够配置在磨擦手段与超音波照射手段 之间。 2.一种洗净装置,其特征为: 具备:用来朝向被洗净物表面高压喷射洗净液之洗 净液喷射手段、及朝向被洗净物表面供应洗净液 并且产生超音波之超音波照射手段; 相互对向地配置洗净液喷射手段和超音波照射手 段, 被洗净物能够配置在洗净液喷射手段与超音波照 射手段之间, 从洗净液喷射手段高压喷射出的洗净液的喷射流, 是在从超音波照射手段所供给的洗净液的喷射流 的延长线与被洗净物表面所相交的位置,撞击被洗 净物表面。 3.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中更而具备 朝向磨擦手段侧的被洗净物表面供应洗净液之洗 净液供应手段。 4.如申请专利范围第1或2项之洗净装置,其中更而 具备输送被洗净物之输送手段。 5.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中上述磨擦 手段为洗净刷子。 6.如申请专利范围第5项之洗净装置,其中上述洗净 刷子为滚刷。 7.如申请专利范围第5项之洗净装置,其中上述洗净 刷子为圆盘状刷子。 8.如申请专利范围第2项之洗净装置,其中上述洗净 液喷射手段为高压喷射喷嘴。 9.如申请专利范围第1或2项之洗净装置,其中上述 超音波照射手段为喷射洗净液并且产生超音波之 超音波喷嘴。 10.如申请专利范围第3项之洗净装置,其中上述洗 净液供应手段为呈放射状雾化喷射洗净液之喷雾 器。 11.如申请专利范围第1或2项之洗净装置,其中上述 超音波为850kHz~1MHz频带的高频超音波。 12.如申请专利范围第1或2项之洗净装置,其中上述 洗净液为纯水、超纯水、多氢水、臭氧水、稀氟 化氢酸溶液、或是界面活性剂等。 13.如申请专利范围第4项之洗净装置,其中上述输 送手段为输送滚筒。 14.如申请专利范围第4项之洗净装置,其中上述输 送手段为输送带。 15.如申请专利范围第1或2项之洗净装置,其中更而 具备能将上述被洗净物翻面之翻面机构。 16.如申请专利范围第1或2项之洗净装置,其中具备 使上述被洗净物旋转之旋转机构。 17.如申请专利范围第16项之洗净装置,其中上述旋 转机构,只以周围部支承上述被洗净物,并且利用 与被洗净物成垂直的旋转轴为中心使其旋转。 18.一种洗净方法,其特征为:藉由将洗净液供应被 洗净物表面,从该被洗净物的背面侧使超音波传播 到被洗净物,而以超音波洗净被洗净物表面。 19.如申请专利范围第18项之洗净方法,其中与上述 超音波洗净的同时,利用磨擦手段磨擦上述被洗净 物表面。 20.如申请专利范围第18或19项之洗净方法,其中包 含输送被洗净物之过程。 21.如申请专利范围第18或19项之洗净方法,其中经 由将施加超音波之洗净液喷射到上述被洗净物的 背面侧而施行超音波洗净。 22.如申请专利范围第19项之洗净方法,其中当没有 被洗净物时,经由对磨擦手段喷射施加超音波的洗 净液而以超音波洗净磨擦手段。 23.如申请专利范围第19项之洗净方法,其中上述磨 擦手段为洗净刷子。 24.一种洗净方法,其特征为:包含: 将被洗净物输送到磨擦手段与超音波照射手段之 间之过程;及 将洗净液供应到磨擦手段侧的被洗净物表面之过 程;及 以上述磨擦手段磨擦上述被洗净物表面之过程;及 利用上述超音波照射手段将施加超音波的洗净液 喷射到上述被洗净物的背面侧,使超音波传播到上 述被洗净物而以超音波洗净上述被洗净物表面之 过程;及 从磨擦手段与超音波洗净手段之间送出被洗净物 之过程;及 当没有被洗净物时,利用上述超音波照射手段将施 加超音波的洗净液喷射到上述磨擦手段而洗净该 磨擦手段之过程。 25.如申请专利范围第24项之洗净方法,其中是同时 进行:以上述磨擦手段磨擦上述被洗净物表面之过 程、及上述超音波洗净过程。 26.如申请专利范围第24或25项之洗净方法,其中能 连续将复数片被洗净物送入、送出。 图式简单说明: 第1图系为表示本发明洗净装置的一实施形态之侧 面图。 第2图系为表示上述实施形态其洗净装置的变形例 之侧面图。 第3图系为表示洗净实验的结果之图形。 第4图系为表示本发明洗净装置的其他实施形态之 侧面图。 第5图系为表示过去的洗净装置中冲刷洗净槽的部 位之部分侧面图。 第6图系为表示过去的洗净装置中超音波洗净槽的 部位之部分侧面图。 |
