| 主权项 |
1.一种薄膜形成装置,属于在于溶剂中,将膜材料被 溶解或分散所成之涂布液,涂布于基板上,形成薄 膜之薄膜形成装置,其特征系于前述基板上具备具 有吐出前述涂布液之液滴吐出喷头的吐出机构,和 可相对移动该液滴吐出喷头和前述基板之位置的 移动机构,和控制前述吐出机构及前述移动机构之 至少一方的控制部;在涂布于前述基板上之涂布液 之附近,具有供给溶剂蒸气的溶剂蒸气供给机构。 2.如申请专利范围第1项之薄膜形成装置,其中,前 述溶剂蒸气供给机构系该供给之溶剂蒸气之浓度, 较涂布于基板上之涂布液之中央部,周边部为高地 供给溶剂蒸气者。 3.如申请专利范围第1项或第2项之薄膜形成装置, 其中,前述溶剂蒸气供给机构系具备被覆至少基板 之表面侧的覆盖,和于此覆盖内供给溶剂蒸气之供 给手段而构成者。 4.如申请专利范围第1项或第2项之薄膜形成装置, 其中,前述控制部系控制吐出机构所进行之吐出动 作及移动机构所进行之移动动作之至少一方,改变 前述涂布液之涂布条件,控制前述薄膜之膜厚者。 5.一种液晶装置之制造装置,属于于一对之基板间, 挟持液晶之液晶装置之制造装置中,其特征系具备 如申请专利范围第1项~第4项之任一项记载之薄膜 形成装置, 该薄膜形成装置为形成至少一种形成于前述基板 上的薄膜。 6.一种薄膜构造体之制造装置,属于在于基板上,形 成薄膜构造体之制造装置中,其特征系具备如申请 专利范围第1项~第4项之任一项记载之薄膜形成装 置, 该薄膜形成装置为形成至少一种形成于前述基板 上的薄膜。 7.一种薄膜形成方法,属于在于溶剂中,将膜材料被 溶解或分散所成之涂布液,涂布于基板上,形成薄 膜之薄膜形成方法,其特征系使用如申请专利范围 第1项~第4项之任一项记载之薄膜形成装置, 由液滴吐出喷头向基板上吐出前述涂布液之后,在 于由前述溶剂蒸气供给机构吐出之涂布液之附近, 供给溶剂蒸气者。 8.一种液晶装置之制造方法,属于在于一对之基板 间,挟持液晶之液晶装置之制造方法中,其特征系 使用如申请专利范围第7项之薄膜形成方法,形成 至少一种形成于前述基板上之薄膜者。 9.一种薄膜构造体之制造方法,属于在于基板上形 成薄膜之薄膜构造体之制造方法,其特征系使用如 申请专利范围第7项之薄膜形成方法,形成至少一 种形成于前述基板上之薄膜者。 10.一种具有显示装置之电子机器,其特征系将如申 请专利范围第8项记载之方法所制造之液晶装置, 或如申请专利范围第9项记载之方法所制造之薄膜 构造体做为显示手段而具备者。 图式简单说明: 【图1】为说明本发明之薄膜形成装置之一例之概 略构成之侧面图。 【图2】为说明图1所示薄膜形成装置之主要部分 之概略构成之斜视图。 【图3】为说明液滴吐出喷头之概略构成之图,(a) 为主要部斜视图、(b)为主要部侧剖面图。 【图4】显示适用本发明所形成之液晶装置之一例 之概略构成的侧剖面图。 【图5】说明改变液滴吐出喷头之角度时之喷嘴间 隔图。 【图6】为说明本发明之薄膜形成装置之外之例的 主要部之概略构成斜视图。 【图7】显示具备显示手段之电子机器之具体例图 ,(a)乃显示适用于携带电话时之一例的斜视图、(b) 乃显示适用于资讯处理装置时之一例的斜视图、( c)乃显示适用于手表型电子机器时之一例的斜视 图。 【图8】(a)、(b)乃为说明以往之涂布法之课题的侧 面图。 |
