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发明名称 MESO-MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM PACKAGE
摘要
申请公布号 AU2003304052(A1) 申请公布日期 2004.11.19
申请号 AU20030304052 申请日期 2003.12.18
申请人 MOTOROLA, INC., A CORPORATION OF THE STATE OF DELAWARE 发明人 MANES, ELIACIN;TOMASZ, KLOSOWIAK;ROBERT, LEMPKOWSKI;KE, LIAN
分类号 B81B7/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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