Wärmeverteilermodul und Verfahren zur Herstellung desselben

摘要

Ein Wärmeverteilermodul (10) besitzt einen Sockel (12), ein durch ein erstes aktives Hartlotmaterial (18) mit dem Sockel (12) verbundenes Wärmeverteilermodul (14), eine durch ein zweites aktives Hartlotmaterial (20) mit dem Wärmeverteilermodul (14) verbundene Zwischenschicht (24), eine durch ein drittes aktives Hartlotmaterial (28) mit der Zwischenschicht (24) verbundene Isolierplatte (22) und eine durch ein viertes aktives Hartlotmaterial (30) mit der Isolierplatte (22) verbundene Schaltplatte (26). Die ersten bis vierten aktiven Hartlotmaterialien (18, 20, 28, 30) besitzen eine Dicke im Bereich von 3 bis 20 mum, wenn die Komponenten des Wärmeverteilermoduls unter Druck miteinander verbunden werden, und enthalten einen aktiven Bestandteil (Ti) in einer Menge im Bereich von 400 bis 1000 mug/cm·2·.