发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Schichten einer Metallverbindung |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69825138(T2) |
申请公布日期 |
2004.11.18 |
申请号 |
DE19986025138T |
申请日期 |
1998.08.19 |
申请人 |
SHINCRON CO LTD |
发明人 |
SHIGEHARU MATSUMOTO;KAZUO KIKUCHI |
分类号 |
C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
主分类号 |
C23C14/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|