发明名称 PYROMETER KALIBRIERUNG UNTER VERWENDUNG MEHRERER LICHTQUELLEN
摘要
申请公布号 DE69826961(D1) 申请公布日期 2004.11.18
申请号 DE19986026961 申请日期 1998.05.07
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 YAM MARK
分类号 G01J5/02;G01J5/00;G01J5/52;(IPC1-7):G01J5/52 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
主权项
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