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发明名称
PYROMETER KALIBRIERUNG UNTER VERWENDUNG MEHRERER LICHTQUELLEN
摘要
申请公布号
DE69826961(D1)
申请公布日期
2004.11.18
申请号
DE19986026961
申请日期
1998.05.07
申请人
APPLIED MATERIALS INC
发明人
YAM MARK
分类号
G01J5/02;G01J5/00;G01J5/52;(IPC1-7):G01J5/52
主分类号
G01J5/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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