| 发明名称 |
SELEKTIVE ÄTZUNG VON HALBLEITENDEM SUBSTRAT IN BEZIEHUNG AUF EPITAKTISCHE SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69633616(D1) |
申请公布日期 |
2004.11.18 |
| 申请号 |
DE19966033616 |
申请日期 |
1996.12.09 |
| 申请人 |
KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV |
发明人 |
TIJBURG P;FLAMHOLTZ J;HABERERN KEVIN |
| 分类号 |
C23F1/14;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/473;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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