电浆产生系统之电弧侦测装置及其侦测方法

摘要

一种电浆产生系统之电弧侦测装置包括射频（RF）感测器和关联模组。射频感测器分别根据与电浆腔室相连的RF电源的电子特性产生第一信号和第二信号。关联模组根据第一信号和第二信号产生电弧侦测信号。电弧侦测信号指示于电浆腔室中是否产生电弧，并且用以改变RF电源的方位以消除电弧。