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发明名称
摘要
申请公布号
JP2004535039(A)
申请公布日期
2004.11.18
申请号
JP20030504434
申请日期
2002.06.04
申请人
发明人
分类号
H05H1/46;B08B7/00;C23C16/503;H01J37/32;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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