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发明名称
摘要
申请公布号	JP2004535077(A)	申请公布日期	2004.11.18
申请号	JP20030513028	申请日期	2002.07.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/316;H01L21/321;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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