光微影系统，散热方法及框架

摘要

明与用来投射影像或是影像图案至像是晶圆的目标物上的光微影系统相关。从该目标物移除由影像或是影像图案的投射累积在该目标物的能量，使得因为局部或是整体加热的膨胀限制在相关的预先所定义数值，其中这样的热量移除藉由应用在与该目标物作热接触的热量吸收材料的相转变实现。进一步详细阐述，可应用这样的热量吸收材料与另外具有较佳的热传导系数的材料结合，也可将该材料混合包含具有较佳热传导系数材料的乳剂。该材料可黏着在该目标物的底部表面也可以包含在框架之中。

主权项

一种用来投射影像或是影像图案至目标物上的光微影系统，其中从该目标物移除由该影像或是该影像图案的投射累积在该目标物的能量，而在此方式由于对该目标物局部或是整体加热的膨胀限制在相关的预先所定义数值，以及其中这样的热量移除藉由透过包含热量吸收材料的支撑结构应用与该目标物作热接触的该热量吸收材料从固态转变成液态的相转变来实现，其中，该支撑结构具有上侧，其包括支撑该目标物的节点，在这个系统中，为了处理该目标物的目的，在该上侧与该目标物之间提供相保留的液体或是糊膏。