发明名称 | 侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯 | ||
摘要 | 本发明公开了一种侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯;涉及一种光探测器;具体地说,涉及光探测器的管芯结构。该管芯是在掺铁的半绝缘半导体InP衬底1上,通过有机金属化学汽相淀积技术,沿着垂直方向逐次生长缓冲层2、下光波导层3、光吸收层4、上光波导层5、光限制层6和接触层7;通过刻蚀技术,使之形成孤岛状上、下两个台形部分;上台形部分包括3至7层,其水平面为(半椭圆-矩形-半椭圆)形状;下台形部分是第2层,为矩形形状。最后通过解理技术,把连体式管芯分成2个侧面进光的光探测器管芯。该管芯具有结构简单、体积小、进光平面解理容易、芯区面积可微调、组装耦合方便、和共面波导连接兼容等特点。 | ||
申请公布号 | CN1547261A | 申请公布日期 | 2004.11.17 |
申请号 | CN200310111559.3 | 申请日期 | 2003.12.11 |
申请人 | 武汉电信器件有限公司 | 发明人 | 丁国庆 |
分类号 | H01L31/08;H01L31/105 | 主分类号 | H01L31/08 |
代理机构 | 武汉宇晨专利事务所 | 代理人 | 黄瑞棠 |
主权项 | 1、一种侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯,其特征在于:在半绝缘InP衬底(1)上,依次为缓冲层(2)、下光波导层(3)、光吸收层(4)、上光波导层(5)、光限制层(6)和接触层(7);该管芯由上、下两个台形部分组成;上台形部分包括3至7层,其水平面为半椭圆-矩形-半椭圆形状;下台形部分是第2层,其水平面为矩形形状;其电极(8)和共面波导连线兼容。 | ||
地址 | 430074湖北省武汉市洪山区邮科院路88号 |