| 发明名称 |
THIN FILM ENCAPSULATION OF MEMS DEVICES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1476394(A2) |
申请公布日期 |
2004.11.17 |
| 申请号 |
EP20030717894 |
申请日期 |
2003.02.19 |
| 申请人 |
NORTHROP GRUMMAN CORPORATION |
发明人 |
FREIDHOFF, CARL, B. |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;(IPC1-7):B81B7/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
