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发明名称
METHOD FOR DRILLING MICROHOLES USING A LASER BEAM
摘要
申请公布号
EP1389405(B1)
申请公布日期
2004.11.17
申请号
EP20020771623
申请日期
2002.05.03
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
HEERMAN, MARCEL;ROELANTS, EDDY;DE STEUR, HUBERT;EDM , SEBASTIAN
分类号
B81C99/00;B23K26/00;B23K26/04;B23K26/08;B23K26/38;B23K101/42;H05K3/00;(IPC1-7):H05K3/00
主分类号
B81C99/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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