基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法

摘要

本发明公开了一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法。所述的装置主要包括由光学显微镜、频闪照明装置、MEMS结构运动激励装置、CCD摄像机组成，其特征在于：光源采用高亮发光二极管，并辅以恒流驱动电路；MEMS运动驱动采用单片高压运放，具有多级增益调整。所述的测试方法，其过程包括频闪与驱动信号的同步控制、平面图像几何量参数的归一化评价、模糊图像的运动估计、图像匹配的运动估计。本发明的优点在于：采用虚拟仪器方式实现功能调整和扩展；在连续光照明下，实现平面几何量参数的归一化评定，辅以模糊运动图像的分析，实现运动特性的快速测量，且对频率无限制；在频闪照明下，利用图像匹配技术实现高精度的运动特性测试。

主权项

1、一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置。该装置包括由三维微动测试台、光学显微镜、频闪照明装置、MEMS结构运动激励装置、CCD摄像机、图像采集卡、GPIB控制卡、任意波形发生器、测量和控制计算机组成，其特征在于：光源采用高亮度的发光二极管LED，并辅以高带宽的恒流驱动电路和前置的任意波形发生器；MEMS运动驱动采用以单片高压运放为核心的电压驱动电路，具有多级增益调整，辅以前置的任意波形发生器。