| 发明名称 | 离子注入机 | ||
| 摘要 | 本发明属于半导体器件制作技术领域，是一种多晶硅薄膜晶体管离子注入机。本发明包含有真空室，抽气装置，气路部分，电控制器。本发明的气路部分通过配气截止阀同真空室连接，向真空室运送所要注入的气体。抽气装置通过角阀和闸板阀同真空室连接，利用真空泵使真空室保持一定的真空度。电控制器连接所有的用电部件，作为本发明的电源。本发明采取离子通量注入的方式，省去了现有技术中质量分析系统、离子束聚焦和扫描系统，因此结构简单，而且可以大面积的离子注入。在抽气装置上增加大排量机械泵，使本发明可以用作化学气相淀积PECVD和等离子刻蚀。 | ||
| 申请公布号 | CN1547240A | 申请公布日期 | 2004.11.17 |
| 申请号 | CN200310115894.0 | 申请日期 | 2003.12.08 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 付国柱;邵喜斌;荆海;廖燕平;高文涛;史辉琨 |
| 分类号 | H01L21/265;H01J37/317 | 主分类号 | H01L21/265 |
| 代理机构 | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人 | 李恩庆 |
| 主权项 | 1、一种多晶硅薄膜晶体管离子注入机包含有真空室(15)、抽气装置(5)、气路部分、电控制器，其特征是气路部分通过配气截止阀(13)同真空室(15)连接，向真空室运送气态离子；抽气装置(5)通过角阀(17)和闸板阀(18)同真空室(15)连接，利用真空泵使真空室(15)保持一定的真空度；电控制器连接所有的用电部件，作为本实用新型的的电源；玻璃基板(4)在接地电极(9)的下方，基板衬底采用5路电阻丝加热，保证温度均匀性。 | ||
| 地址 | 130031吉林省长春市东南湖大路16号 | ||