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发明名称 Thermal treatment system for semiconductors
摘要
申请公布号 EP1463093(A3) 申请公布日期 2004.11.17
申请号 EP20040007264 申请日期 2004.03.25
申请人 ASAHI GLASS CO., LTD. 发明人 TAKATA, MASAAKI;KAGEYAMA, NOBUO;OTAGURO, SUSUMU;NISHIHAMA, JIRO
分类号 H01L21/324;C23C16/44;C23C16/46;C30B33/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/00;C30B25/08 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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