氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件的制造方法

摘要

本发明涉及一种氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件的制造方法，属于半导体传感器及敏感元件制造工艺技术领域。本发明主要采用溶胶－凝胶工艺，其特征是：在氧化铝衬底上先浸涂二氧化锡层，再在二氧化锡层表面制备氧化铁层，经过热处理，形成氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件。本发明方法制备的氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件，具有较高的稳定性能和灵敏度，而且工艺简便，成本低廉。它可用于检测司机有没有过量饮酒，可以控制酒后开车问题。

主权项

1.一种氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件的制造方法，主要采用溶胶—凝胶工艺，其特征在于它包括有如下各工艺步骤：a.首先制备二氧化锡基料，将四氯化锡溶解于乙醇中形成溶液，加热回流4-6小时，然后在60℃-80℃水浴中老化24小时，得到二氧化锡溶胶；b.将事先做好金电极和氧化钌电阻加热层的氧化铝衬底浸入上述二氧化锡溶胶中，10分钟后取出，并在110℃温度下烘干；c.重复浸入—烘干过程10-20次，得到二氧化锡薄膜；d.然后将该溶胶薄膜在500℃-550℃下处理1小时，可使溶胶转化为而凝胶二氧化锡层，其厚度为300-800纳米；e.接着制备氧化铁基料，将三氯化铁溶解于乙醇中形成溶液，加热回流6-8小时，然后在60℃-80℃水浴中老化24小时，得氧化铁溶胶；f.将上述已制备好的二氧化锡层的氧化铝衬底再浸入氧化铁溶胶中，10分钟后取出，并在110℃温度下烘干；g.重复上述浸入—烘干过程10-20次，然后在500℃-550℃下处理1小时，可得凝胶氧化铁层，其厚度为300-800纳米；h.最后将上述得到的氧化铁/二氧化锡双层薄膜在700℃下热处理30分钟，使双层薄膜向界面生长出一层铁锡复合氧化物过渡层，最终制得氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件。