| 发明名称 | 相移波纹聚焦监视器 | ||
| 摘要 | 一种光学监视器，其是包括一本体，该本体具有第一复数条平行、实质上不透明且彼此间具有间隙而相分离的线，以及第二复数条平行、实质上不透明且彼此间具有间隙而相分离的线，且介于该第一复数条线与第二复数条线的间具有相对小的角度。当第一复数条线的影像提供于该半导体本体上时，依据该监视器朝向或离开该半导体本体相对的移动，该线影像相应的移动至该半导体本体。第二复数条线的影像提供于该半导体本体上时，依据该监视器朝向或离开该半导体本体以不同的方式相对的移动。于分析前述移动的期间，由该第一与第二复数条线的影像于该半导体本体上形成波纹边缘，藉以实现于该半导体本体上适当的影像聚焦。 | ||
| 申请公布号 | CN1547684A | 申请公布日期 | 2004.11.17 |
| 申请号 | CN02816700.7 | 申请日期 | 2002.02.22 |
| 申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | B·拉丰丹;J·基;H·利维森 |
| 分类号 | G03F9/00 | 主分类号 | G03F9/00 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;程伟 |
| 主权项 | 1.一种光学装置，其特征在于具有：光学装置本体；第一复数条形成于光学装置本体上实质上平行、不透明且彼此间具有间隙而相分离的线；以及第二复数条形成于光学装置本体上实质上平行、不透明且彼此间具有间隙而相分离的线，其中，且介于该第一复数条线与第二复数条线的间具有90度外的角度。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||