发明名称 LOCAL STORE FOR A WAFER PROCESSING STATION
摘要
申请公布号 EP1476380(A2) 申请公布日期 2004.11.17
申请号 EP20030742792 申请日期 2003.02.14
申请人 VERTICAL SOLUTIONS, INC. 发明人 SACKETT, JAMES, G.;WELDON, DAVID, E.;ANDERSON, ALEXANDER, H.
分类号 B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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