| 主权项 |
1.一种制备正性光敏抗蚀剂组合物的方法，包括：a)用去离子水清洗酸性离子交换树脂，随后用无机酸溶液清洗，再用去离子水清洗，从而降低离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb；b)用去离子水清洗阴离子交换树脂，随后用无机酸溶液清洗，再用去离子水清洗，然后用氢氧化铵溶液清洗，再用去离子水清洗，从而降低阴离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb；c)制备在去离子水中的4，4′-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚(TPPA)浆，固含量1-20％，并过滤得到滤饼；d)将滤饼倒入去离子水中，再制备浆液，固含量1-20％，并过滤；e)制备TPPA的滤饼在极性溶剂或极性溶剂混合物中的溶液；f)将TPPA溶液通过所述酸性离子交换树脂，随后通过所述阴离子交换树脂，从而降低所述TPPA溶液中的金属离子含量至各低于100ppb；g)将TPPA溶液加入去离子水中，从而沉淀出TPPA；h)通过过滤器过滤TPPA，并且干燥TPPA；i)通过提供以下组分的混合物制备光敏抗蚀剂组合物： 1)足以光敏化光敏抗蚀剂组合物的光敏组分； 2)金属离子含量十分低的不溶于水而溶于碱水的成膜性酚醛清 漆树脂； 3)由以上步骤a)至h)获得的纯化的TPPA； 4)光敏抗蚀剂溶剂。 |
