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发明名称 Scanning charged-particle beam instrument and method of observing specimen image therewith
摘要
申请公布号 EP1061551(B1) 申请公布日期 2004.11.17
申请号 EP20000305000 申请日期 2000.06.13
申请人 JEOL LTD. 发明人 YAMADA, ATSUSHI;NEGISHI, TSUTOMU;KOBAYASHI, TOSHIHARU;WATANABE, NORIO
分类号 G01B15/00;G01B15/08;G01N23/225;G01Q30/04;H01J37/22;H01J37/28;H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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