| 发明名称 | 气体电子倍增器聚合物薄膜网格的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种应用于X射线探测的气体电子倍增器聚合物薄膜网格的制作方法，是采用308nm准分子激光照射两面镀有紫铜膜的聚酰亚胺(PI)薄膜，利用紧贴PI薄膜之前的微孔阵列掩膜板的作用，在PI膜上形成微孔网格。利用X－Y扫描平台，可以获得任意尺寸的网格。本发明利用308nm准分子激光直接打孔的方法制作气体电子倍增器聚合物薄膜网格，简单有效。 | ||
| 申请公布号 | CN1547232A | 申请公布日期 | 2004.11.17 |
| 申请号 | CN200310108970.5 | 申请日期 | 2003.11.28 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 叶震寰;楼祺洪;魏运荣;董景星;汪琳 |
| 分类号 | H01J9/00;H01J43/04;G01T1/28 | 主分类号 | H01J9/00 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1.一种气体电子倍增器聚合物薄膜网格的制作方法，其特征在于该方法的实质是利用308nm准分子激光直接对聚酰亚胺薄膜(6)打孔来制作气体电子倍增器聚合物薄膜网格。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||