一种浮法抛光液膜厚度测量装置

摘要

一种浮法抛光液膜厚度测量装置，属于光学冷加工技术领域中的一种抛光液膜厚度的测量装置。本发明要解决的技术问题是：光杠杆能在抛光液膜中浮起和俯仰角度变化的测量。解决技术问题的技术方案是：采用光滑转轴支撑光杠杆结构，光杠杆浮在液膜表面的一端带有过渡圆滑的弯脚，另一端带有反射镜，用平行光管观察光杠杆的俯仰角度变化。本发明是由抛光系统和测量系统组成的，测量系统安装在抛光系统中的被加工件的后面，该装置可以实时动态测量液膜厚度，改善超光滑表面抛光条件，提高工作效率和抛光质量。

主权项

1、一种浮法抛光液膜厚度测量装置，包括抛光系统，抛光系统包括抛光池、被加工件、工件轴、锡磨盘、磨盘轴，其特征在于本发明还包括测量系统，测量系统包括反射镜(10)、转轴(11)、弯角(12)、液膜(13)、平行光管(14)；在抛光系统中，锡磨盘轴(16)垂直安装在锡磨盘(7)的中心，工件轴(9)垂直固定在被加工件(8)的中心，被加工件(8)的抛光表面与锡磨盘(7)的表面平行，两者之间充满液膜(13)。测量系统安装在抛光系统中的被加工件(8)的后面，在测量系统中，反射镜(10)、转轴(11)、弯脚(12)三者构成光杠杆，反射镜(10)在转轴(11)的上方，镜面与转轴(11)的轴向平行，转轴(11)的轴向与垂直的工件轴(9)的轴向垂直，弯脚(12)在转轴(11)的下方，弯脚(12)的面与转轴(11)的轴向平行，弯脚(12)下部的弯脚面与液膜(13)的表面平行并浮在液膜(13)的表面上，位于转轴(11)上方的反射镜(10)与位于转轴(11)下方的弯脚(12)的面之间形成的夹角大于120°且小于180°，平行光管(14)的光轴垂直于反射镜(10)的反射面。