减少透镜像差之光罩与方法

摘要

一种可减少透镜像差之光罩，包括一透光基底与一遮光层，该遮光层设置于该透光基底上，且该遮光层边缘部份具有复数个虚设图案与复数个辅助图案，上述辅助图案系设置于上述虚设图案之外部。一种可减少透镜像差之方法，包括下列步骤：提供一半导体基底，于该半导体基底上覆盖有一光阻层，藉由一光罩在该光阻层中形成图案，其中该光罩边缘部份具有复数个虚设图案与复数个辅助图案，上述辅助图案系设置于上述虚设图案之外部，以上述图案化光阻为一罩幕，进行一蚀刻步骤以在该半导体基底中形成复数个虚设沟槽。依照本发明之方法，可使虚设图案间之关键尺寸获得较佳之一致性。