光罩用基板,光罩毛胚及光罩

摘要

本发明之目的在于，获得可减低来自侧面部的粉粒的产生，并且在处理侧面部时不易滑落的大型光罩用基板。作为解决问题之手段，该光罩用基板，系为具备表面及背面组成的主表面；形成于板厚方向的端面T；及形成于上述端面T与表面及背面之间的倒角面C的透光性的光罩用基板，其特征为：上述基板之主表面的尺寸系一边L为300mm以上，上述端面T及上述倒角面C之表面粗度(Ra)为0.03～0.3μm的粗面。