| 摘要 |
一挠性无线微机电麦克风包含：一挠性聚合物材料基板、以PECVD形成于该基板上之一挠性微机电转换器结构，印刷于该基板上用于与外源沟通之一天线、埋入于该基板内且与该挠性微机电转换器及该天线电性连接之一电线与界面电路、与该基板电性连接且供应电源至该微机电转换器之一挠性电池层、以及与该电池层电性连接之一挠性蓝牙模组层。该挠性微机电转换器包括：一挠性基板、沉积于该基板上之一膜层、形成于该膜层上之一下端电极、沉积一压电聚合物于该下端电极上所形成之一活性层、形成于该活性层上之一上端电极层、以及分别连接至该下端与上端电极层之第一与第二连接垫片。 |
