光罩及扩散反射板

摘要

在此光罩中，在由中心点11～19、31、34、37、21、22、23构成的德洛内(德洛内)三角形群中，配置有单位区域R1内的中心点11～19，使德洛内三角形的面积的平均值A以及标准偏差B在预定的数值范围内。据此，即使在边界线Bd2、Bd3附近中也能得到具有在单位区域间无接缝的图案配置之光罩，可在不产生干涉条纹或不均匀的状态下制造反射亮度高的扩散反射板。