双层介电层的制造方法

摘要

一种双层介电层的制造方法，适用于一基底之上，仅需要一步沉积制程。此一方法系先形成一低介电系数材质层于基底之上，接着，以一电浆后处理将低介电系数材质层上半部的预定厚度转变成一介电层而形成双层介电层。