| 摘要 |
本发明提供能改善气化安定性之有机金属化合物及其合成方法以及含该化合物之溶液原料、含金属之薄膜。详言之，本发明之有机金属化合物，系具有金属原子与氮原子的结合或半金属原子与氮原子的结合的化合物，其特征为：该化合物所含氮之含量为200ppm以下，且水之含量为30ppm以下。又，该化合物之一般式，系以下式所表示。M〔(R^1)2N〕(n–s)(R^2)s………(1)在此，M为金属原子或半金属原子，而金属原子为Hf、Zr、Ta、Ti、Ce、Al、V、La、Nb或Ni，半金属原子为Si，而R^1为甲基或乙基、R^2为乙基、n为M之价数，S为0至n–1之整数。 |
