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经营范围
发明名称
锗化合物
摘要
提供适合用作为锗膜之气相沉积前驱物之锗化合物。提供使用此种锗化合物沉积含锗薄膜之方法。此种锗膜特别适合用于制造电子装置。
申请公布号
TW200424331
申请公布日期
2004.11.16
申请号
TW093109338
申请日期
2004.04.05
申请人
罗门哈斯电子材料有限公司
发明人
渥克 亚伯特;史纳可 迪欧 韦纳
分类号
C23C14/14
主分类号
C23C14/14
代理机构
代理人
洪武雄;陈昭诚
主权项
地址
美国
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