用于LCD、OELD具有LDD区域之结晶矽TFT面板CRYSTALLINE SILICON TFT PANEL FOR LCD OR OELD HAVING AN LDD REGION

摘要

本发明系有关一用于LCD或OELD之结晶矽TFT面板。根据本发明，于TFT面板之像素区域中利用金属诱发侧边结晶(MILC)形成一像素电晶体与一包含一结晶矽薄膜之储存电容，且一掺杂物浓度为1E14／cm^2以下之低浓度掺杂区域同时形成于像素电晶体之通道周围，可有效降低像素电晶体之关电流。因此，本发明具半导体装置所需之优点，即TFT面板之像素电晶体与驱动电路可透过相对较简单之制造方式同时制造，且可个别并同时满足像素电晶体与驱动电路所需之关电流及开电流特性。