1,2--2-二叠氮化物磺酸酯系感光剂及光阻剂组成物1,2-NAPHTHOQUINONE-2-DIAZIDESULFONATE ESTER PHOTOSENSITIZER AND PHOTORESIST COMPOSITION

摘要

本发明之课题在于提供一种1，2––2–二叠氮化物磺酸酯系感光剂及光阻剂组成物，其除了溶解性佳、可以低价制造之外，可兼顾感度与残膜率，可用作为用于制造半导体积体电路或液晶显示器、EL显示器等(尤其是液晶显示器)之光阻剂之感光剂。上述课题之达成手段为提供一种下示一般式(I)所示之1，2––2–二叠氮化物磺酸酯系感光剂。093110490-p01.bmp其中，一般式(I)中，R1、R2、R3及R4分别互相独立代表碳数2至9之烷基；D1～D8系互相独立，其中至少2个为1，2––2–二叠氮化物磺醯基，且其余者中至少1个为芳基磺醯基，其他则为氢原子。093110490-p01.bmp