| 摘要 |
可藉由单元(60)来测定在气体或气体混合物中的物质分量，该单元可对用来清洗在用来将图案投影到基材(100)上之投影仪(41)中的透镜(10)之气体或气体混合物进行测量。于此实例中，将在已输入至透镜(10)的气体上之第一测量结果与从透镜(10)移出的气体之测量结果比较。特别是，若该物质为因来自照明来源(14)的高能量辐射影响而导致沉积在透镜(10)上的污染物质，则该差异可使用来作出在透镜(10)的表面上之光化学反应将导致不利的沉积物之推论。比较之结果为讯号产生，其可使用来获得对透镜(10)老化之预防性测量。可使用质谱仪、电或光学感应器及其它熟知用于物质分析的方法作为测量单元(60)。 |
