摘要 |
本发明提供一种蒸发装置,其目的在向长度方向释出均匀的蒸镀物。该蒸发装置系藉由通电至配置于长条之坩锅(10)之上部之电热加热器(12),收纳于坩锅(10)内,且将设置于电热加热器(12)之下方的蒸发材料予以加热,而使气化之蒸镀材料从所通过之电热加热器(12)之开口释出。对于该坩锅(10)之外部系施有金属涂层(25),藉此,即可减少辐射至坩锅(10)之外部的热,且可以较高效率将电热加热器(12)所产生之热利用于蒸发材料之升温。因此,可使长条坩锅(10)内之加热得以有效率,且达到内部温度均匀化之目的。 |