蒸气处理装置

摘要

本发明系提供一种蒸汽处理装置，能够防止从被处理物除去的除去物再次附着在被处理物上，而且能够减小排气量和降低成本。本发明之蒸汽处理装置，具有蒸汽处理部10，其包含向被处理物A喷射用于蒸汽处理的蒸汽G1的蒸汽喷嘴2、设在蒸汽喷嘴2附近并将供给蒸汽处理后的蒸汽G2的至少一部分排出到蒸汽处理系统外的排气机构5、及冷却蒸汽处理后的蒸汽G2的冷却机构6，在被处理物A的表面和蒸汽处理部10之间的间隙中形成有可以使由冷却机构6所冷却而凝结的蒸汽的冷凝液L2通过的流路15。