微影制程中交替相移式光罩之侦测相位/振幅误差的方法及系统

摘要

一种侦测交替相移式光罩之相位及振幅误差的方法。在实施例中，该方法包含将一平行光束穿过相移式光罩的一组相邻、相位移动开孔。随后，以角度位置的函数纪录穿过该组相邻开孔的绕射光线的光束强度。针对该纪录光束强度，决定在第一绕射级数及第二绕射级数发生时的角度α，其中α系代表来自一组对称分布绕射级数的变异。再者，最小强度及最大强度系由该纪录光束强度决定，其中该相位误差系由所决定α的数值计算而得，而且该振幅误差系由最小强度及最大强度计算而得。