控制质量位置,尤其在微影装置中控制质量位置

摘要

本发明提供一种控制器，尤其是在微影装置中，用以藉由一控制力量来控制一质量(例如基板工作台(12))的位置。该控制器会从该质量(12)处接收一回授位置信号，并且从该回授位置信号及该控制力量中计算一预测质量(m)。接着，该控制器会利用该预测质量(m)以及一预期的质量加速度来决定用以加速该质量(m)所需要的控制力量，并且将其移至预期位置。