微影装置及元件制造方法

摘要

本发明提供一种微影装置，投影光束在基板上之强度分布的角度相依性受到控制。一光束分割器恒定放置在光束内接近一瞳平面处。该光束分割器分割出一辅助光束，该辅助光束被使用来测量有关该光束在瞳平面上之空间强度分布的资讯。最好，辅助光束内被测量之位置相依性藉使用照明器固有之边界条件来反卷积以补偿瞳平面与被检测元件间之差异。被测量之位置相依性被使用来控制在瞳平面内操控位置相依性之光学元件的参数。此种光学元件的一范例系可控制操纵光束一部分之方向的矩阵元件。如此可实现一连续回馈环路。