微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭露一种微影投影装置，其中投影系统之最终元件与基板之间之空间系以液体填注，一缘部密封构件17、117至少部分地围绕于基板平台WT上之基板W或其他物体，以利于当成像或照射于基板之缘部时可防止重大之液体损失。