电浆辅助涂覆技术

摘要

本发明提供用以触发、调整、及保持供各种涂覆方法使用之电浆的方法及装置。于一实施例中，一物件之表面可藉着使气体于电浆触媒存在下接受某一数量之电磁辐射能量以于一腔室中形成电浆，且添加至少一种涂覆材料于该电浆，而进行涂覆。该材料可沉积于该物件表面而形成一涂层。亦提供各种电浆触媒。