积体电路制程之晶圆批货预设动作的复制方法

摘要

一种晶圆批货预设动作的复制方法，先将来源制造程序之阶层结构表示为制造程序堆叠。随后对来源制造程序堆叠进行编码，以形成一对一的对应码，使得对应码对应于制造程序的阶层结构。然后复制来源制造程序的对应码至目的制造程序，其中目的制造程序的阶层结构与来源制造程序的阶层结构相同或是相似。最后对目的制造程序的对应码进行解码，以形成目的制造程序的制造程序堆叠，使得目的制造程序堆叠与来源制造程序堆叠的预设动作全部相同或是部分相同。