光罩图案

摘要

一种光罩图案，形成于一基板上，此一光罩图案系由主图案以及反相次解析辅助图案所组成，其中反相次解析辅助图案系位于主图案侧边。而反相次解析辅助图案包括一第一辅助图案以及一第二辅助图案，而第一辅助图案系接近主图案，其中第一辅助图案与主图案之相位差为180度，第二辅助图案则是远离主图案，且相邻于第一辅助图案，其中第二辅助图案与第一辅助图案之相位差为180度。由于主图案旁有反相的辅助图案，所以可增加其曝光时的解析度。