| 摘要 |
一种用于光微影装置之图案化元件，例如一遮罩，其包括一空白层、该空白层之一表面上之一已图案化之不透明材料层及覆盖该表面之一全聚氟醚(PFPE)液体薄膜。一种制造图案化元件之方法，其包括提供一具有一空白层及位于该空白层之一表面上之一已图案化之不透明材料层的图案化元件、施加PFPE液体至该表面以形成一覆盖该表面的PFPE液体层且移除至少一部分该PFPE液体层。一种清除用于光微影投影装置之图案化元件的方法，该图案化元件包括一空白层及位于该空白层之一表面上之一已图案化之不透明材料层，该方法包括施加PFPE液体至该空白层之表面以形成一覆盖该表面之PFPE液体层且移除至少一部分该PFPE液体层。 |
