| 摘要 |
本发明之技术课题在于：提供藉由不透过机械滑动部将微小差压传至电子式称量压力变换器，可高精度连续测定微小差压，并藉简单构造可大幅降低制造成本的超精密微小差压测定装置。本发明解决上述技术课题之手段由内部具有空间部1的装置本体1、配设于装置本体1的内部空间内并呈气密状将该内部空间隔成下部空间7及上部空间8的受压板3、配设于下部空间7内并支持固定受压板3于其上的电子式称量压力变换器2以及液封前述受压板3的外周缘部，保持下部空间7与上部空间8间气密的液封部R构成，藉电子式称量压力变换器2，经由受压板3测定上部空间8内的压力P1与下部空间7内的压力P2间的微小差压。 |
