自动计算增加的粒子之方法

摘要

一种在半导体制程期间利用粒子分布的位置资料，来自动计算增加的粒子之方法。首先，自动连结制程前粒子资料和制程后粒子资料，并根据位置分布的差异决定出一共有的粒子。然后，自动连结制程后粒子资料的粒子数目与共有的粒子的粒子数目，并将前者减去后者而得到增加的粒子之数目。本发明所自动计算之增加的粒子可以真实反应出在制程期间增加的粒子，并提供与制程品质有关的有效资讯，以提供一正确的诊断值做为工程师或操作员一个可信赖的判断基础。