将非晶矽转换为多晶矽之方法

摘要

本发明系有关于一种将非晶矽转换为多晶矽之方法，主要包括：提供一非晶矽基板，并对该非晶矽基板进行一惰性气体原子掺杂(doping)制程；以及提对该非晶矽基板之表面升温而进行一热制程或热程序制程。