糊状物涂布装置及糊状物涂布方法

摘要

本发明之糊状物涂布装置系以预先设定之图案将糊状物涂布于基板，该糊状物涂布装置包含：机台，具有用以载置基板之保持面；梁状构件，系于前述机台上方，朝沿着前述保持面之方向延伸设置；移动装置，可使前述梁状构件与前述机台朝与沿着前述保持面之方向，即，前述梁状构件之延伸设置方向垂直之方向相对地移动；引导构件，系沿着前述梁状构件之延伸设置方向设置于前述梁状构件；涂布头部，系支持成可沿着前述引导构件移动者；及多数吸引部，系沿着前述引导构件延伸设置，用以吸引该引导构件附近的气体。