基板支持用保持架及使用基板支持用保持架的基板对中装置和基板输送装置

摘要

本发明涉及基板支持用滚珠保持架(holder)，和利用该保持架的FPD制造用对中(centering)装置及输送装置。本发明的保持架的特征在于，其由下列部分构成：滚珠，其与基板接触，并进行滚动旋转多个支持珠，在其上安放上述滚珠，并使滚珠进行滚动旋转；上侧壳体，其具有支持上述多个支持珠的珠支持部，以及盖住上述滚珠和支持珠的外周面，直径比滚珠小的滚珠导向槽；保持架结合部，其与上述上侧壳体连接，并具有固定滚珠保持架的结合部件(22)。并且，本发明的基板对中装置，以及基板输送和清洗装置的特征在于，安装了本发明的滚珠保持架。